概要
プラズマは物質の存在状態です。一般に、物質は固体、液体、気体の3つの状態で存在しますが、場合によっては、地球の大気中のイオノスフィアにある物質など、4番目の状態があります。 プラズマ状態には次の物質が存在します:高速運動状態の電子、活性化状態の中性原子、分子、原子群(ラジカル)、イオン化された原子と分子、未反応の分子、原子など。物質は全体にあります電気的に中性の状態はまだ維持されています。 真空チャンバー内に中ガスが注入され、高周波電源により高エネルギープラズマが発生します。 プラズマは、洗浄対象の表面に衝突し、化学的および物理的に有機汚染物質と相互作用して揮発性化合物を形成します。揮発性化合物は、洗浄の目的を達成するために作動ガスとともに排出されます。
原理
プラズマ洗浄とは、プラズマ中のさまざまな高エネルギー物質の活性化を利用して、物体の表面に付着した汚れを完全に剥がすことです。
以下は、これらの効果を説明するための例として、酸素プラズマを使用してオブジェクトの表面のグリースや汚れを除去します。分析から、グリースの汚れに対するプラズマの影響は、グリースの汚れの燃焼反応に似ていることがわかりますが、違いは低温での「燃焼」です。
基本原理:酸素プラズマ中の酸素原子ラジカル、励起された酸素分子、電子、紫外線の複合作用により、油分子は最終的に水と二酸化炭素分子に酸化され、物体の表面から除去されます。以上のことから、プラズマを利用して油汚染を除去する過程で、有機高分子が徐々に分解され、最終的に水や二酸化炭素などの小分子が形成され、ガス状に排出されることがわかります。プラズマ洗浄のもう1つの特徴は、洗浄が完了した後、対象物が完全に乾燥していることです。プラズマ処理された表面は、多くの場合、オブジェクトの表面を「活性化」してその特性を変化させることができる多くの新しい活性遺伝子を形成します。これにより、オブジェクトの表面の濡れ性能と接着性能が大幅に向上します。これは、多くの材料にとって非常に重要です。 。したがって、プラズマ洗浄には、多くの溶剤が湿式洗浄に対応できないという特徴があります。
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