| 機能構成 | 技術的パラメータ | |||
| モデル | VP-60L | VP-80L | VP-100L | VP-150L |
| 寸法 (mm) | L=1200 W=920 H=1690 | |||
| 真空チャンバーの内部サイズ (mm) | L=403 W=400 H=403 | L=450 W=400 H=450 | L=470 W=460 H=470 | L=500 W=600 H=500 |
| 真空チャンバーの材質 | ステンレス鋼 | |||
| 電極板サイズ (mm) | 319（L）×374（W） | 320（L）×420（W） | 380（L）×440（W） | 520（L）×470（W） |
| 電極板材質 | 特殊アルミ電極 | |||
| 重さ | 560KG | 580KG | 630KG | 680KG |
| コントロール | PLC+ タッチスクリーン | |||
| 電極板構造 | レベル8階 | |||
| 真空ポンプシステム | 二段式オイルロータリーベーン真空ポンプ、ルーツ真空ポンプセット | |||
| 真空測定システム | ピラニ抵抗真空計 | |||
| ガス測定システム | 高精度質量流量計 | |||
| プラズマ発生器 | 高精度0-500Wプラズマ発生器 | 高精度0-1000Wプラズマ発生器 | ||
| プラズママッチャー | 高精度0-500W自動マッチャー | 高精度0-1000W自動マッチャー | ||
| 作業真空 | 10-100 Pa | |||
| 真空ポンプの極限圧力 | 5×10-1 Pa | |||
| 真空時間 | ≤ 55S | ≤ 70S | ≤ 80S | ≤ 100S |
| 真空破壊時間 | ≤ 15S | ≤ 20S | ≤ 25S | ≤ 30S |
| ガス制御範囲 | マスフロー0-300SCCM（オプション） | マスフロー0-500SCCM（オプション） | ||
| RF電源 | 0-500W（範囲内で調整可能） | 0-1000W（範囲内で調整可能） | ||
| 動作モード | 手動ピックアンドプレース、ワンキー自動操作 | |||
| 電源 | 3相 380V | |||
| 総電力 | 4 KW | 4.5 KW | ||
